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Filmes nanométricos de FeN e ALN crescidos por sputtering e aplicações do efeito peltier

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Academic year: 2017

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Tabela 2.7: Condutividade térmica para os nitretos semicondutores e outros materiais de inte- inte-resse [62].
Tabela 2.9: Fônons ópticos calculados e obtidos experimentalmente para o AlN em (cm −1 ); LO
Figura 3.7: Magnetron sputtering mostrando os elétrons confinados próximos a superfície do alvo pelo campo magnético dos ímãs.
Figura 3.9: Alvo de AlN depois de utilizado para deposição em um magnetron sputtering.
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