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Produção e caracterização de filmes finos de silício amorfo hidrogenado por descarga...

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Academic year: 2017

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Figura 4.5. Vista Esquematica da Alimen~o Eletrica (Fonte DC) e Leitura via Lock-in para a Medida do Comprimento de Difus40 Ambipolar
Figura 4.16. Espectro do Coeficiente de Abson;ao Caracterisitico do a-Si:H obtido pela tecnica CPAf
Figura 4.20. Espectro de Transmissao no Infra-Vermelho Distante: a) para Amostra depositada a 60 Hz com Fluxo de SiH 4 a 10 ml/min: b) para Amostra depositada a 60 Hz com Fluxo de SiH
Figura 4.22. Medida da Taxa de Deposic;ao de Amostras depositadas a 60 Hz em Func;ao da Temperatura do Substrato: a) para Flu:'{ode SiH 4 a 10 mJJrnin: b) para Fluxo de SiH
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