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Projeto e construção de um forno para processamento de células solares

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Academic year: 2017

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Figura 3.9. Esquema de um forno convencional para processos de difusão de dopantes em  lâminas de Si
Figura 3.15. Representação esquemática de um tubo de processamento com aparato de quartzo  para o aumento da turbulência em seu interior [23]
Figura 4.11. Conjunto de resistores elétricos envolto por camada de isolamento térmico com a  indicação das zonas de aquecimento
Figura 4.25. Diagrama para definição de parâmetros para processos de difusão com POCl 3
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