Пленум терапевтов России «Трудности в современной диагностике и лечении внутренних болезней»

Исследования поверхности тонких ∼5 нм тестовых слоев нитрида кремния на сапфире методами AFM и оптической интерференционной микроскопии показали, что при in situ росте в реакторе MOCVD