2017 №3/Статьи
8
0
0
Texto
Documentos relacionados
Полу- ченные данные об однородности характеристик слоев и равномерном распределении скорости роста эпитаксиальных слоев GaN на длине рабочей ростовой зоны15−20 cmпозволяют говорить о