Uma sugestão de trabalho seria o uso de uma gaiola com duas tampas idênticas na geometria, com exceção na espessura e feitas de materiais diferentes como mostradas na Figura 50. Com o objetivo de depositar nitreto de alumínio e titânio, por exemplo, poderiam ser usadas uma tampa de alumínio e uma tampa de titânio colocadas uma sobre a outra e plasma com atmosfera de hidrogênio e titânio. As variáveis a serem estudadas poderiam ser as concentrações de titânio e alumínio no filme em função da espessura da tampa de alumínio, com a espessura da tampa de titânio fixa.
Figura 50 - Desenho mostrando detalhe da tampa formada por dois materiais diferentes.
Fonte: AUTOR
Ti
Substratos Al
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APÊNDICE A
Reflectogramas dos filmes A1 a A6 – curvas experimentais em azul e curvas ajustadas em preto.
Figura 51 - Reflectogramas do filme A1. Intensidade (u.a.) X (graus)
Figura 52 - Reflectogramas do filme A2. Intensidade (u.a.) X (graus)
Figura 54 - Reflectogramas do filme A4. Intensidade (u.a.) X (graus)
Figura 55 - Reflectogramas do filme A5. Intensidade (u.a.) X (graus).
APÊNDICE B
Curvas de Nyquist e Bode dos filmes A1 a A6 experimentais e ajustadas.
Figura 57 - Curva de Nyquist do filme A1
Figura 58 - Curva de Bode: |Z| x frequência – filme A1
Figura 60 - Curva de Nyquist do filme A2
Figura 61 - Curva de Bode: |Z| x frequência – filme A2
Figura 63 - Curva de Nyquist – filme A3
Figura 64 - Curva de Bode: |Z| x frequência – filme A3
Figura 66 - Curva de Nyquist do filme A4
Figura 67 - Curva de Bode: |Z| x frequêcia - filme A4
Figura 69 - Curva de Nyquist do filme A5
Figura 70 - Curva de Bode: |Z| x frequêcia - filme A5
Figura 72 -Curva de Nyquist do filme A6
Figura 73 - Curva de Bode: |Z| x frequência – filme A6
APÊNDICE C
Reflectogramas dos filmes E1, E2 e E7 , G1 e G10 - curvas experimentais em azul e curvas ajustadas em preto.
Figura 75 - Reflectogramas do filme E1G1. Intensidade (u.a.) X (graus).
Figura 76 - Reflectogramas do filme E1G10. Intensidade (u.a.) X (graus).
Figura 78 - Reflectogramas do filme E2G10. Intensidade (u.a.) X (graus).
Figura 79 - Reflectogramas do filme E7G1. Intensidade (u.a.) X (graus).
APÊNDICE D
Curvas de Nyquist e Bode dos filmes E7G10 e E2G10, experimentais e ajusta- das.
Figura 81 - Curva de Nyquist do filme E7G10.
Figura 82 - Curva de Bode: |Z| x frequência – filme E7G10.
Figura 84 - Curva de Nyquist do filme E2G10.
Figura 85 - Curva de Bode: |Z| x frequência – filme E2G10.