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Estudo das características elétricas do biossensor do tipo FET baseado em InP

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INSTITUTO DE F´ISICA GLEB WATAGHIN

Aldeliane Maria da Silva

Estudo das caracter´ısticas el´

etricas do biossensor

do tipo FET baseado em InP

CAMPINAS 2016

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Ficha catalográfica

Universidade Estadual de Campinas Biblioteca do Instituto de Física Gleb Wataghin Lucimeire de Oliveira Silva da Rocha - CRB 8/9174

Silva, Aldeliane Maria da,

Si38e SilEstudo das características elétricas do biossensor do tipo FET baseado em InP / Aldeliane Maria da Silva. – Campinas, SP : [s.n.], 2016.

SilOrientador: Mônica Alonso Cotta.

SilDissertação (mestrado) – Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Física Gleb Wataghin.

Sil1. Biossensores. 2. Fosfeto de índio. 3. DNA. 4. Transistores de efeito de campo. I. Cotta, Mônica Alonso,1963-. II. Universidade Estadual de Campinas. Instituto de Física Gleb Wataghin. III. Título.

Informações para Biblioteca Digital

Título em outro idioma: Study of electrical characteristics of FET-type biosensor based on

InP Palavras-chave em inglês: Biosensors Indium phosphide DNA Field-effect transistors

Área de concentração: Física Titulação: Mestra em Física Banca examinadora:

Mônica Alonso Cotta [Orientador] Christoph Friedrich Deneke Antonio Riul Júnior

Data de defesa: 12-07-2016

Programa de Pós-Graduação: Física

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MEMBROS DA COMISSÃO JULGADORA DA DISSERTAÇÃO DE MESTRADO DE

ALDELIANE MARIA DA SILVA - RA 153904 APRESENTADA E APROVADA AO

INSTITUTO DE FÍSICA “GLEB WATAGHIN”, DA UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS, EM 12 / 07 / 2016.

COMISSÃO JULGADORA:

- Profa. Dra. Mônica Alonso Cotta – Orientadora – DFA/IFGW/UNICAMP

- Prof. Dr. Christoph Friedrich Deneke – LNNano/CNPEM

- Prof. Dr. Antonio Riul Júnior – DFA/IFGW/UNICAMP

OBS.: Informo que as assinaturas dos respectivos professores membros da banca

constam na ata de defesa já juntada no processo vida acadêmica do aluno.

CAMPINAS

2016

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A Deus por todas as maravilhas da vida e pela oportunidade de realizar este trabalho.

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A minha orientadora Profa.Dra. Mˆonica Cotta pela orienta¸c˜ao, apoio e tamb´em pela paciˆencia infinita desde o in´ıcio do mestrado.

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A minha m˜ae Ozilma por estar comigo sempre e me apoiar em todas as escolhas, al´em de me ensinar a n˜ao ter medo dos desafios.

Ao meu pai Aldo pelo apoio, ensinamentos e incentivo para o estudo da ciˆencia e realiza¸c˜ao deste trabalho.

Aos meus irm˜aos pela amizade e apoio nos momentos mais dif´ıceis, e ao meu pequenino sobrinho Ricardo por me dar alegria infinita e inspira¸c˜ao pela ciˆencia.

`

A Mariana Zavarize (amiga do lab) pela amizade e apoio durante o mestrado, e pela ajuda com o programa do LabView para a aquisi¸c˜ao das medidas el´etricas do biossensor.

Ao Adinei pelo apoio indo ao laborat´orio para me ajudar a abrir as garrafas de reagentes para funcionaliza¸c˜ao das amostras (aquelas tampas s˜ao muito apertadas para mim) e pela ajuda indispens´avel com o LaTex.

Aos amigos e membros do grupo Moniellen, Duber, Douglas, Jacobo, Bruno. `

A Moniellen e Duber pela amizade e ajuda no lab e na prepara¸c˜ao dos buffers. Ao Richard Janissen pelo protocolo de funcionaliza¸c˜ao das amostras e pre-para¸c˜ao do biossensor.

Ao Prasana Sahoo pela ajuda e paciˆencia na funcionaliza¸c˜ao das amostras. Ao Alberto pela ajuda na discuss˜ao sobre o biossensor.

Ao Antˆonio von Zuben (Tot´o) pelo incentivo desde o in´ıcio deste trabalho e pela prepara¸c˜ao das minhas amostras com plasma de O2.

Ao H´elio Obata pelo crescimento das amostras do biossensor e pela ajuda com os contatos el´etricos de In.

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A Rita Gullen pelos ensinamentos e apoio. `

A amiga da gradua¸c˜ao Bruna Gabrielly pelo incentivo (Klim!). `

As meninas da rep´ublica: Danittiele, Renata, Vanessa, Zhang Xiao Dan (Alice) pelo incentivo.

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phenomena which impress him like a fairy tale.”

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Este trabalho apresenta resultados de nossa investiga¸c˜ao sobre as propriedades el´etricas do biossensor do tipo transistor de efeito de campo (FET, do inglˆes Field Effect Transistor ) baseado em fosfeto de ´ındio (InP). A estrutura deste biossen-sor consiste em um filme fino de InP do tipo-n crescido por Epitaxia de Feixe Qu´ımico (CBE, do inglˆes Chemical Beam Epitaxy) sobre um substrato de InP semi-isolante. No nosso biosensor, o contato da porta foi substitu´ıdo por uma camada de biomol´eculas carregadas de interesse para a detec¸c˜ao, funcionalizadas na camada de ´oxido do InP. O campo el´etrico associado a estas biomol´eculas pode modular o canal de condu¸c˜ao. O sistema de intera¸c˜ao espec´ıfica utilizado foi a hibridiza¸c˜ao de fitas de ssDNA (single stranded DNA) complementares, onde os oligonucleot´ıdeos receptores (probe) ssDNA foram imobilizados covalentemente na superf´ıcie da amostra. Este procedimento foi realizado atrav´es da oxida¸c˜ao com plasma de O2, seguida da funcionaliza¸c˜ao utilizando etanolamina e polietileno

gli-col (PEG), que serve como linker para a imobiliza¸c˜ao de receptores na superf´ıcie. As medidas el´etricas de detec¸c˜ao foram feitas com as mol´eculas de target dilu´ıdas em buffer TRIS. A hibridiza¸c˜ao do DNA provoca um aumento na densidade de cargas na superf´ıcie, que consequentemente aumenta a largura da regi˜ao de de-ple¸c˜ao no semicondutor, variando a resistˆencia medida. A resposta do biossensor corresponde `a varia¸c˜ao da resistˆencia em fun¸c˜ao da concentra¸c˜ao de target. O biossensor apresentou sensibilidade para medidas de concentra¸c˜oes entre 10 pM e 30 pM, onde ocorre a satura¸c˜ao, e o tempo de resposta, no qual encontramos a estabiliza¸c˜ao do sinal medido, foi de aproximadamente 20 min. Variando a concentra¸c˜ao de portadores e a espessura da camada semicondutora, verificamos altera¸c˜oes no limite de satura¸c˜ao (at´e µM) e na sensibilidade do dispositivo. O controle destas propriedades, por´em, mostrou-se limitado devido `a varia¸c˜oes na dopagem residual do semicondutor, e por isso discutimos aqui alternativas `a ge-ometria do dispositivo. Analisamos tamb´em a camada funcionalizada atrav´es de medidas de topografia e potencial de superf´ıcie usando m´etodos de microscopia de varredura por sonda (SPM, do inglˆes Scanning Probe Microscopy). Pudemos iden-tificar a varia¸c˜ao no potencial de superf´ıcie associada `a imobiliza¸c˜ao do PEG e do DNA probe, mas n˜ao obtivemos resolu¸c˜ao para o DNA target. Esta t´ecnica permi-tiu por´em verificar a estratifica¸c˜ao de quatro n´ıveis de potencial de superf´ıcie, no caso onde a funcionaliza¸c˜ao resultou em camadas mais espessas do que os valores t´ıpicos (∼ 2 nm de espessura), em pequenas ´areas do semicondutor.

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This dissertation presents our results for the electrical properties investigation of Indium Phosphide (InP) based Field Effect Transistor (FET) biosensor. The structure of this biosensor consists of a thin n-type InP film grown by Chemical Beam Epitaxy (CBE) on a semi-insulating InP substrate. In our biosensor, the gate contact has been replaced by charged biomolecules of interest for detection, functionalized to the InP oxide layer. The electric field associated with these bi-omolecules provides the conduction channel modulation. The specific interaction system used here was the hybridization of single stranded-DNA (ssDNA) comple-mentary oligonucleotides, for which the ssDNA receivers (probes) were covalently immobilized on the sample surface. The functionalization was carried out by oxi-dation with O2 plasma, followed by grafting biomolecules using ethanolamine and

polyethylene glycol (PEG), which act as a linker for immobilizing the receptors on the surface. Electrical detection measurements were made with the target mole-cules diluted in TRIS buffer. DNA hybridization causes an increase in the surface charge density; consequently the semiconductor depletion width increases, affec-ting the measured resistance. The biosensor response function corresponds to the resistance variation as a function of target concentration. Our biosensor showed measured sensitivity to concentrations between 10 pM and 30 pM, for which signal saturation occurs. The response time, for which the measured signal stabilization was observed, was approximately 20 min. By varying the carrier concentration and the thickness of the semiconductor layer, we observed changes in the saturation limit (up µM) and device sensitivity. The control of these properties, however, is limited due to variations in the residual doping of the semiconductor. Therefore we discuss here alternative device geometries. We also analyzed the functionalized layer by topography and surface potential measurements obtained using scanning probe microscopy (SPM) methods. We were able to identify the change in surface potential associated with the immobilization of PEG and probe DNA, but not for the target DNA. These techniques have however shown four surface potential le-vels in the case when the functionalization resulted in non-uniform layers, thicker than the typical values (∼ 2 nm), in small areas of the semiconductor.

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1.1 Representa¸c˜ao da estrutura de um biossensor (receptor biol´ogico integrado a um transdutor), a intera¸c˜ao com o analito levar´a `a ob-ten¸c˜ao de um sinal mensur´avel, adaptado de [1]. . . 19 1.2 Ilustra¸c˜ao do processo de reconhecimento espec´ıfico que levar´a a um

sinal mensur´avel no biossensor, adaptado de [1]. . . 20 1.3 Estrutura e composi¸c˜ao da mol´ecula dsDNA [20]. . . 23 1.4 Ilustra¸c˜ao de 4 m´etodos comuns para imobiliza¸c˜ao de biomol´eculas:

aprisionamento em membrana, microencapsulamento, adsor¸c˜ao f´ısica e liga¸c˜ao covalente, adaptado de [26]. . . 24 1.5 Representa¸c˜ao esquem´atica de diferentes formas de imobiliza¸c˜ao de

biomol´eculas receptoras na superf´ıcie (probes): 1) adsor¸c˜ao, 2) imo-biliza¸c˜ao por rea¸c˜oes aleat´orias e 3) imobiliza¸c˜ao por liga¸c˜ao em um s´ıtio espec´ıfico da superf´ıcie, comparando a perda de atividade dos probes imobilizados pelos processos 1 e 2 em rela¸c˜ao ao 3, que permite uma configura¸c˜ao orientada, adaptado de [19]. . . 25 1.6 Representa¸c˜ao da imobiliza¸c˜ao orientada de (a) mol´ecula de ssDNA

e (b) anticorpo, adaptado de [19]. . . 26 1.7 Representa¸c˜ao esquem´atica de um biossensor baseado em ressonˆancia

de pl´asmons de superf´ıcie (SPR). Nesta configura¸c˜ao ´e utilizado um prisma como objeto ´optico, adaptado de [33]. . . 29 1.8 Diagramas de bandas de energia para uma estrutura capacitiva MIS

nos modos: (a) acumula¸c˜ao, (b) deple¸c˜ao e (c) invers˜ao, adaptado de [52]. . . 32 1.9 Varia¸c˜ao da largura da regi˜ao de deple¸c˜ao em fun¸c˜ao do potencial

de band bending para InP com diferentes concentra¸c˜oes de portadores. 33 1.10 Diferentes configura¸c˜oes para dispositivos do tipo FET, adaptado

(12)

dois casos, cargas negativas no contato da porta ou na superf´ıcie do nanofio levam ao aumento da condutˆancia entre fonte (F) e dreno (D), adaptado de [56]. . . 35 1.12 Representa¸c˜ao esquem´atica de uma mol´ecula de DNA imobilizada

covalentemente na superf´ıcie de um sensor FET e os comprimentos de Debye λD para solu¸c˜oes com diferentes for¸cas iˆonicas, adaptado

de [47]. . . 37 1.13 Representa¸c˜ao de um (a) FET e (b) biossensor de InP do tipo FET,

onde o contato da porta foi substitu´ıda por uma camada de bioma-terial. . . 38 2.1 Representa¸c˜ao da estrutura do biossensor de InP. Um filme fino de

InP tipo-n ´e crescido sobre um substrato de InP semi-isolante. Os contatos el´etrico de In (em amarelo) foram feitos nas laterais da superf´ıcie do dispositivo, definido uma ´area ativa (verde) do dispo-sitivo. A parte superior da figura representa a funcionaliza¸c˜ao com uma camada de etanolamina (azul), camada PEG, as biomol´eculas receptoras imobilizadas e os ligantes que ser˜ao detectados atrav´es de intera¸c˜ao espec´ıfica com os receptores, adaptado de [64]. . . 41 2.2 Esquema simplificado do sistema CBE instalado no IFGW da

Uni-camp. Precursores do material do grupo III (TEG e TMI), junta-mente com seu g´as de arraste (H2), e precursores do grupo V (P H3

e AsH3) craqueados termicamente s˜ao introduzidos em uma cˆamera

de crescimento que est´a em alto v´acuo (inicialmente em ultra alto v´acuo). As paredes da cˆamara de crescimento s˜ao resfriadas com nitrogˆenio l´ıquido para ajudar a manter press˜ao baixa durante o crescimento e tamb´em capturar os precursores que tenham dessor-vido do substrato [67]. . . 43 2.3 Etapas do processo de funcionaliza¸c˜ao da superf´ıcie: 1.Oxida¸c˜ao;

2.Amina¸c˜ao; 3.Camada PEG e 4.Imobiliza¸c˜ao covalente de probe ssDNA, adaptado de [65]. . . 45 2.4 A) Amostra de InP (1) conectada atrav´es de fios de cobre (2) a

uma placa de circuito para medidas el´etricas. B) C´elula l´ıquida de acr´ılico adaptada a amostra de InP com os contatos el´etricos para medidas de detec¸c˜ao, a estrutura foi montada sobre um suporte de PVC [63]. . . 47 2.5 Representa¸cao do AFM [69]. . . 49 2.6 Potencial de for¸ca interatˆomica em fun¸c˜ao da distˆancia entre ponta

(13)

2.8 Diagrama de energia: (a)ponta e amostra isoladas eletricamente; (b)contato el´etrico e (c) aplica¸c˜ao do potencia VDC para anular a

diferen¸ca de potencial de contato VCP D, adaptado de [71]. . . 52

3.1 Medidas de resistˆencia em fun¸c˜ao do tempo para o biossensor 1, mostrando inicialmente a estabiliza¸c˜ao com buffer TRIS e os expe-rimentos de titula¸c˜ao com target ssDNA. . . 56 3.2 Gr´afico da varia¸c˜ao relativa da resistˆencia em fun¸c˜ao do tempo, a

partir da adi¸c˜ao de target em concentra¸c˜oes entre 10 pM e 50 pM para o biossensor 1. . . 57 3.3 Gr´afico da varia¸c˜ao relativa da resistˆencia em fun¸c˜ao da

concen-tra¸c˜ao de target DNA para o biossensor 1. Os pontos representam a m´edia da resposta do biossensor ap´os a estabiliza¸c˜ao em cada concentra¸c˜ao de target e as barras de erro representam o desvio da m´edia. A curva verde representa o ajuste realizado pela fun¸c˜ao f (x) = Kmax· x/(x + KD) do modelo de isoterma de Langmuir. . . 58

3.4 Medidas de resistˆencia em fun¸c˜ao do tempo para o biossensor 2, mostrando inicialmente a estabiliza¸c˜ao com buffer TRIS e os expe-rimentos de titula¸c˜ao com target ssDNA. . . 59 3.5 Gr´afico da varia¸c˜ao relativa da resistˆencia em fun¸c˜ao do tempo, a

partir da adi¸c˜ao de target ssDNA em concentra¸c˜oes entre 10 pM e 30 pM para o biossensor 2. . . 60 3.6 Medidas de resistˆencia em fun¸c˜ao do tempo para o biossensor 3,

mostrando inicialmente a estabiliza¸c˜ao com buffer TRIS e os expe-rimentos de titula¸c˜ao com target ssDNA. . . 60 3.7 Gr´afico da varia¸c˜ao relativa da resistˆencia em fun¸c˜ao do tempo, a

partir da adi¸c˜ao de target ssDNA em concentra¸c˜oes entre 10 pM e 10 µM para o biossensor 3. . . 61 3.8 Medidas de resistˆencia em fun¸c˜ao do tempo para o biossensor 4,

mostrando a estabiliza¸c˜ao com buffer TRIS e os experimentos de titula¸c˜ao com target ssDNA nas concentra¸c˜oes de 10 pM e 50 pM. . 62 3.9 Imagens de (a) topografia e (b) fric¸c˜ao, obtidas ap´os 20 medidas

no modo contato do AFM em uma mesma regi˜ao de 5 µm x 5 µm da amostra funcionalizada com etanolamina, PEG e probe ssDNA. A regi˜ao mais escura com aproximadamente 1,5 µm de largura na imagem de topografia representa a regi˜ao de onde foi retirado mais material com a ponta do AFM. A linha rosa representa uma cross-section para estimar aaltura da camada. . . 63

(14)

rosa na imagem de topografia. . . 63 3.11 Imagens de 5 µm x 5 µm de (a) topografia, (b) fase e (c) SP para

a amostra InP#3154 sem funcionaliza¸c˜ao (referˆencia); (d) topogra-fia, (e) fase e (f) SP para a amostra InP#3154 funcionalizada com PEG e (g) topografia, (h) fase e (i) SP para a amostra InP#3154 funcionalizada com probe ssDNA. . . 65 3.12 Diagrama representando a varia¸c˜ao de potencial de superf´ıcie entre

as amostras de InP#3154 funcionalizadas e a referˆencia correspon-dente. . . 66 3.13 Imagens de 0,5 µm x 0,5 µm de: (a) topografia, (b) fase, (c) SP para

a amostra InP#3228 de referˆencia, e (d) topografia, (e) fase e (f) SP para a amostra de InP#3228 com probe DNA, (g) topografia, (h) fase e (i) SP para a amostra InP#3228 com target DNA 10 pM. 66 3.14 Diagrama representando a varia¸c˜ao de potencial de superf´ıcie entre

as amostras de InP#3228 funcionalizadas e a referˆencia correspon-dente. . . 67 3.15 Imagens com 0,5 x 0,5 µm para medidas de SP na amostra InP#3228

com target ssDNA 10µM ap´os (a) 30 min e (b) 2h de exposi¸c˜ao ao fluxo de N2. . . 68

3.16 Diagrama ilustrando as varia¸c˜oes de potencial de superf´ıcie para medidas da amostra InP#3228 com target DNA 10 µM ap´os 30 min e 2h de exposi¸c˜ao ao fluxo de N2 em rela¸c˜ao `a medida de referˆencia

correspondente. . . 69 3.17 Imagens de 0,5 µm x 0,5 µm de: (a) topografia, (b) fase, (c) SP para

a amostra de referˆencia, e (d) e (g) topografia, (e) e (h) fase, (f) e (i) SP para duas regi˜oes da amostra InP#3227 com target DNA 20 pM. . . 70 3.18 Identifica¸c˜ao dos n´ıveis de potencial de superf´ıcie para as diferentes

composi¸c˜oes obtidas pelo processo de funcionaliza¸c˜ao na amostra com target ssDNA 20pM. . . 70 3.19 Imagens de 0,5µm x 0,5µm de: (a) topografia, (b) fase, (c)SP para

a amostra de referˆencia, e (d) e (g) topografia, (e) e (h) fase, (f) e (i) SP para duas regi˜oes da amostra InP3227 com target DNA 30pM. 72 3.20 Identifica¸c˜ao dos n´ıveis de potencial de superf´ıcie para as diferentes

composi¸c˜oes obtidas pelo processo de funcionaliza¸c˜ao na amostra com target ssDNA 30 pM. . . 72

(15)

semi-isolante e uma camada de Au, funcionando como contato do backgate. . . 77

(16)

2.1 Valores m´edios para a concentra¸c˜ao e mobilidade de portadores e re-sistividade do filme fino de InP. Estes valores foram obtidos atrav´es de 4 medidas Hall. Tamb´em s˜ao apresentados o tempo de cresci-mento das amostras no CBE e a espessura nominal relacionada. . . 44 2.2 Materiais utilizados na prepara¸c˜ao dos buffers e os valores de pH

obtidos. . . 46 3.1 Potenciais de superf´ıcie m´edios para as amostras de InP#3154

fun-cionalizadas com PEG e probe DNA e as medidas de referˆencia correspondentes. . . 65 3.2 Potenciais de superf´ıcie m´edios para as amostras de InP#3228

fun-cionalizadas com probe DNA, amostras com titula¸c˜ao de target DNA nas concentra¸c˜oes 10 pM, 10 nM e 10 µM e as medidas de referˆencia correspondentes. . . 67 3.3 Potenciais de superf´ıcie m´edios para medidas com a amostra InP#3228

com target ssDNA 10µ em diferentes tempos de exposi¸c˜ao ao fluxo de N2. . . 68

3.4 Potenciais de superf´ıcie m´edios para os n´ıveis encontrados em duas regi˜oes da amostra com target ssDNA 20pM. . . 71 3.5 Areas efetivas e relativas ocupadas por cada n´ıvel de potencial cal-´

culadas a partir da m´edia das duas regi˜oes da amostra com target ssDNA 20pM. . . 71 3.6 Potenciais de superf´ıcie m´edios para os n´ıveis encontrados em duas

regi˜oes da amostra com target ssDNA 30 pM. . . 73 3.7 Areas efetivas e relativas ocupadas por cada n´ıvel de potencial cal-´

culadas a partir da m´edia das duas regi˜oes da amostra com target ssDNA 30 pM. . . 73

(17)

AFM- Microscopia de For¸ca Atˆomica (do inglˆes Atomic Force Microscopy) AM-KPFM - Amplitude-Modulation Kelvin Probe Force Microscopy CBE - Epitaxia de Feixe Qu´ımico (do inglˆes Chemical Beam Epitaxy) CTV - Citrus Tristeza Virus

DI - deionizada

DMSO - Dimethyl Sulfoxide DNA - ´Acido desoxirribonucleico dsDNA - double stranded DNA

EDC - (1-Ethyl-3-(3-dimethylaminopropyl)carbodiimide) ELISA - Enzyme-Linked Immunosorbent Assay

FET - Transistor de Efeito de Campo (do inglˆes Field Effect Transistor ) FM-KPFM - Frequency-Modulation Kelvin Probe Force Microsopy GFP - Green Fluorescent Protein

GOx - Glicose oxidase

ISFET - Ion Sensitive Field Effect Transistor KPFM - Kelvin Probe Force Microscopy

LOD - Limite de detec¸c˜ao (do inglˆes Limit of Detection) MES - (2-(N-morpholino)-ethanesulfonnic acid)

MIS - Metal-Isolante-Semicondutor

MOSFET - Metal-Oxide Semiconductor Field Effect Transistor

PCR - Rea¸c˜ao em Cadeia da Polimerase (do inglˆes Polymerase Chain Reaction) PEG - Polietilenoglicol

pH - Potencial hidrogeniˆonico

QCM - Microbalan¸ca de Cristal de Quartzo (do inglˆes, Quartz Crystal Microba-lance)

ssDNA - single stranded DNA SP - Potencial de Superf´ıcie

SPM - Microscopia de varredura por sonda (do inglˆes Scanning Probe Micros-copy)

SPR - Ressonˆancia de Pl´asmons de Superf´ıcie (do inglˆes Surface Plasmons Reso-nance)

TEG - trietil-g´alio TMI - trimetil-´ındio

(18)

Agradecimentos ii

Resumo v

Abstract vi

1 Introdu¸c˜ao 19

1.1 Biossensor: defini¸c˜ao . . . 19

1.2 Motiva¸c˜ao para o estudo de biossensores . . . 21

1.3 Receptores biol´ogicos . . . 22

1.4 Modos de Transdu¸c˜ao . . . 26

1.5 Biossensores do tipo FET . . . 30

1.5.1 Estrutura de um FET . . . 31

1.5.2 Estrutura do biossensor . . . 34

1.5.3 Biossensor de InP . . . 38

2 Metodologia experimental 41 2.1 Prepara¸c˜ao das amostras . . . 42

2.1.1 Epitaxia de Feixe Qu´ımico (CBE) . . . 42

2.1.2 Crescimento e caracteriza¸c˜ao das amostras semicondutoras . 43 2.1.3 Funcionaliza¸c˜ao da superf´ıcie . . . 44

2.2 Medidas el´etricas do biossensor . . . 47

2.3 Microscopia de For¸ca Atˆomica (AFM) . . . 48

2.4 Kelvin Probe Force Microscopy (KPFM) . . . 49

3 Resultados 55 3.1 Biossensor . . . 55

3.2 An´alise da funcionaliza¸c˜ao . . . 62

3.2.1 Espessura da camada . . . 62

3.2.2 An´alise do potencial de superf´ıcie . . . 64

4 Conclus˜oes 75

(19)

Cap´ıtulo 1

Introdu¸

ao

1.1

Biossensor: defini¸

ao

Um sensor qu´ımico, em geral, ´e um dispositivo que mede uma grandeza f´ısica ou qu´ımica e a transforma em um sinal detect´avel. No biossensor, o sistema de re-conhecimento ´e baseado em biomol´eculas que est˜ao acopladas a um transdutor. Esta ´e a estrutura que deve converter a resposta das rea¸c˜oes bioqu´ımicas em um sinal mensur´avel. As biomol´eculas funcionar˜ao como receptores espec´ıficos para um analito que se deseja analisar [1]. A Figura 1.1 ilustra os componentes b´asicos da estrutura de um biossensor (receptor biol´ogico e transdutor).

Figura 1.1: Representa¸c˜ao da estrutura de um biossensor (receptor biol´ogico integrado a um transdutor), a intera¸c˜ao com o analito levar´a `a obten¸c˜ao de um

sinal mensur´avel, adaptado de [1].

O sistema de intera¸c˜ao espec´ıfica consiste na liga¸c˜ao entre biomol´eculas a par-tir de uma rela¸c˜ao ”chave-fechadura”como ocorre nas enzimas, por exemplo. As

(20)

mol´eculas alvo (targets) ir˜ao interagir com os receptores na superf´ıcie e se houver reconhecimento espec´ıfico, haver´a um sinal gerado no transdutor (Figura 1.2).

Figura 1.2: Ilustra¸c˜ao do processo de reconhecimento espec´ıfico que levar´a a um sinal mensur´avel no biossensor, adaptado de [1].

O conceito inicial de biossensor foi implantado em 1962, com o eletrodo de oxigˆenio de Leyland C. Clark para monitoramento de oxigˆenio no sangue. Clark e Lions propuseram que a incorpora¸c˜ao de enzimas ao sistema de detec¸c˜ao de oxigˆenio seria a base para o desenvolvimento de dispositivos para sensoriamento. Tal sistema passou a ser conhecido como eletrodo enzim´atico. Um exemplo ´e a imobiliza¸c˜ao da enzima Glicose oxidase (GOx) a um eletrodo de platina para a detec¸c˜ao de glicose

em amostras reais, o que deu origem aos biossensores amperom´etricos de primeira gera¸c˜ao. Na presen¸ca de GOx, a glicose reage com o oxigˆenio levando `a forma¸c˜ao

de ´acido glucˆonico e per´oxido de hidrogˆenio, e o monitoramento da quantidade de O2 consumido (ou H2O2 formado) pode ser associada `a concentra¸c˜ao de glicose

[2-4].

Ap´os duas d´ecadas do desenvolvimento de eletrodos enzim´aticos, sistemas de transdu¸c˜ao ´optica come¸caram a ser integrados a anticorpos para o desenvolvi-mento de sensores com bioafinidade, ou imunussensores, constituindo uma se-gunda linha de instrumenta¸c˜ao nessa ´area. Outros sistemas de detec¸c˜ao baseados em ressonˆancia ac´ustica ou transdu¸c˜ao termom´etrica e magn´etica, por exemplo, come¸caram a ser desenvolvidos por´em, estes apresentaram um impacto menor nas aplica¸c˜oes, sendo os m´etodos eletroqu´ımicos mais dominantes nas an´alises cl´ınicas [2]. Nos ´ultimos anos, muitos trabalhos envolvem o uso de dispositivos semicondu-tores baseados em efeito de campo (FETs, do inglˆes Field Effect Transistors) para detec¸c˜ao el´etrica de alta sensibilidade. Estes representam dispositivos promissores para integra¸c˜ao em estruturas emergentes como o lab-on-a-chip [5-9].

(21)

1.2

Motiva¸

ao para o estudo de biossensores

Os biossensores tˆem aplica¸c˜oes em ´areas de sa´ude para detec¸c˜ao precoce de doen¸cas, farmacˆeutica no desenvolvimento de medicamentos, an´alises cl´ınicas, monitora-mento ambiental de poluentes, monitoramonitora-mento de toxinas em alimonitora-mentos e em bi-ologia molecular, na an´alise da afinidade de intera¸c˜ao entre biomol´eculas. A di-versidade de aplica¸c˜oes dos biossensores e a possibilidade de fazer dispositivos que apresentam alta sensibilidade tˆem levado a um aumento significativo das pesquisas dessa ´area nas ´ultimas d´ecadas [10-15].

Uma an´alise dos estudos reportados na literatura pode ser feita a partir de duas abordagens: a primeira consiste no desenvolvimento de instrumentos laboratoriais sofisticados, de alto desempenho para medidas precisas e de alta sensibilidade de componentes e intera¸c˜oes biol´ogicas. A segunda, no desenvolvimento de dispositi-vos port´ateis e f´aceis de usar, que podem ser utilizados por pessoas n˜ao especia-lizadas e que podem, portanto, ser utilizados para an´alises in situ ou dom´esticas. Estes representam biossensores de baixo custo e que podem ser produzidos em grande escala para aplica¸c˜oes comerciais como, por exemplo, o caso dos biossen-sores de glicose [2,16].

As principais propriedades que caracterizam um biossensor s˜ao: (i) especificidade, que est´a relacionada a capacidade de reconhecimento da biomol´ecula de interesse e depende substancialmente da forma como as biomol´eculas receptoras s˜ao in-tegradas `a superf´ıcie do sensor; (ii) sensibilidade, que consiste na concentra¸c˜ao m´ınima do analito que pode ser detectada, esta depende da configura¸c˜ao e das caracter´ısticas do transdutor utilizado e das condi¸c˜oes ambientes em que a medida de detec¸c˜ao ´e feita; (iii) tempo de resposta, que est´a associado principalmente ao tempo de difus˜ao das biomol´eculas na solu¸c˜ao e ao tempo para liga¸c˜ao com os receptores na superf´ıcie at´e a obten¸c˜ao de um sinal est´avel; (iv) custo e (v) tempo de vida do dispositivo .

A configura¸c˜ao do dispositivo para estas propriedades depende da necessidade da aplica¸c˜ao. Por exemplo, a detec¸c˜ao precoce de pat´ogenos, quando a doen¸ca ainda est´a em fase assintom´atica, exige dispositivos com alta sensibilidade e especifi-cidade, j´a que as mol´eculas de interesse estar˜ao em concentra¸c˜oes muito baixas [17,18]. Em regi˜oes onde existem epidemias ´e necess´ario o uso de dispositvos que apresentem resposta r´apida e alta sensibilidade.

(22)

Neste cap´ıtulo ser´a apresentada uma revis˜ao da literatura sobre os receptores biol´ogicos que s˜ao comumente utilizados e algumas formas de como podem ser integrados ao sensor; em seguida sobre os modos de transdu¸c˜ao que constituem os diferentes tipos de biossensores, e por fim, os objetivos deste trabalho.

1.3

Receptores biol´

ogicos

Alguns sistemas de intera¸c˜ao espec´ıfica consistem na liga¸c˜ao ant´ıgeno-anticorpo, liga¸c˜oes prot´eicas, enzimas e liga¸c˜oes espec´ıficas entre ´acidos nucl´eicos (hibri-diza¸c˜ao). Por exemplo, as enzimas s˜ao biomol´eculas que possuem atividade ca-tal´ıtica [19] e s˜ao caracterizadas por um s´ıtio ativo que deve se ligar especificamente a um substrato. Duas hip´oteses principais explicam como esse tipo de intera¸c˜ao pode ocorrer: a hip´otese de intera¸c˜ao do tipo chave-fechadura, em que o s´ıtio ativo da enzima interage com o substrato espec´ıfico, e a hip´otese de ajuste induzido, em que a presen¸ca do substrato induz uma modifica¸c˜ao no s´ıtio ativo da enzima, at´e que a liga¸c˜ao ocorra.

Um outro sistema de intera¸c˜ao espec´ıfica consiste na hibridiza¸c˜ao de fitas com-plementares nos ´acidos nucl´eicos, estes s˜ao formados por cadeias de nucleot´ıdeos unidos por liga¸c˜oes fosfodi´esters. Os nucleot´ıdeos s˜ao constitu´ıdos por uma base nitrogenada, uma pentose (a¸c´ucar) e um grupo fosfato, no caso do DNA a pentose ´

e a desoxirribose. Como foi descoberto por Watson e Crick, o DNA ´e formado por duas cadeias que se entrela¸cam em forma de dupla h´elice. As intera¸c˜oes res-pons´aveis por manter as cadeias unidas s˜ao as pontes de hidrogˆenio que ligam as bases nitrogenadas especificamente e as intera¸c˜oes hidrof´obicas. O sistema de de-tec¸c˜ao espec´ıfica utilizado ´e a hibridiza¸c˜ao de fitas simples de DNA, isto ´e, single stranded DNA (ssDNA) para formar a mol´ecula double-stranded DNA (dsDNA). A estrutura de dupla h´elice e a composi¸c˜ao do dsDNA s˜ao representadas na Figura 1.3.

A composi¸c˜ao de uma mol´ecula de DNA baseia-se em cadeias formadas por um grupo fosfato P O3−4 , uma pentose, que no caso do DNA ´e a desoxirribose, e uma base nitrogenada. A mol´ecula ´e formada por duas fitas que se ligam especifi-camente atrav´es das pontes de hidrogˆenio que conectam as bases nitrogenadas : adenina (A) que se liga especificamente com a timina (T), e citosina (C) que se liga com a guanina (G). A liga¸c˜ao entre as fitas ´e feita entre os grupos da termina¸c˜ao

(23)

Figura 1.3: Estrutura e composi¸c˜ao da mol´ecula dsDNA [20].

5’ de uma das fitas dos grupos da termina¸c˜ao 3’ da fita complementar. Os grupos fosfatos no backbone da estrutura s˜ao respons´aveis pela carga negativa do DNA Dependendo do sistema biomolecular analisado os biossensores tamb´em s˜ao en-contrados na literatura com diferentes nomenclaturas como: imunossensores ou biossensores de afinidade, no caso de sistema ant´ıgeno-anticorpo, biossensores en-zim´aticos, e genossensores, no caso dos ´acidos nucl´eicos [19,21-25].

O m´etodo de imobiliza¸c˜ao das biomol´eculas receptoras ao transdutor ´e fundamen-tal para a especificidade e sensibilidade do dispositivo. A Figura 1.4 ilustra quatro m´etodos principais para imobiliza¸c˜ao de biomol´eculas na superf´ıcie de um sensor: armadilhamento em uma membrana, microencapsula¸c˜ao em s´ıtios in-tersticiais de um gel, adsor¸c˜ao f´ısica e liga¸c˜ao covalente.

No primeiro caso, uma membrana semiperme´avel separa os receptores biol´ogicos do meio da solu¸c˜ao, mantendo as biomol´eculas em contato com a superf´ıcie do sensor. A microencapsula¸c˜ao ´e baseada no armadilhamento em uma matriz porosa,

(24)

Figura 1.4: Ilustra¸c˜ao de 4 m´etodos comuns para imobiliza¸c˜ao de bi-omol´eculas: aprisionamento em membrana, microencapsulamento, adsor¸c˜ao

f´ısica e liga¸c˜ao covalente, adaptado de [26].

ou na forma¸c˜ao de um encapsulamento poroso, como s´ıtios intersticiais de um gel, em torno das biomol´eculas. Esses m´etodos s˜ao comuns para biossensores eletroqu´ımicos.

A adsor¸c˜ao f´ısica ´e um m´etodo direto e simples, mas depende de uma com-bina¸c˜ao de v´arias intera¸c˜oes na superf´ıcie, como for¸cas de van der Waals, for¸cas hidrof´obicas, pontes de hidrogˆenio e for¸cas iˆonicas. A vantagem de utilizar ad-sor¸c˜ao f´ısica ´e que a superf´ıcie do sensor pode ser regenerada facilmente e n˜ao exige processamentos adicionais da superf´ıcie, por´em o tipo de amostra a ser ana-lisada ´e limitado, visto que a adsor¸c˜ao de mol´eculas n˜ao espec´ıficas compromete a sensibilidade do biossensor.

A imobiliza¸c˜ao por liga¸c˜ao covalente ´e baseada em processos de funcionaliza¸c˜ao da superf´ıcie para ligar mol´eculas bifuncionais que sevir˜ao de linker para a imo-biliza¸c˜ao dos recptores de interesse. ´E o processo que apresenta maior eficiˆencia em rela¸c˜ao a resposta do biossensor, pois permite a imobiliza¸c˜ao orientada dos receptores na superf´ıcie. A Figura 1.5 ilustra uma compara¸c˜ao entre bioreceptores

(25)

(probes) ligados covalentemente com uma orienta¸c˜ao otimizada e probes adsorvi-dos fisicamente, os quais levam a uma perda de atividade, dificultando o processo de liga¸c˜ao espec´ıfica com os targets [19].

Figura 1.5: Representa¸c˜ao esquem´atica de diferentes formas de imobiliza¸c˜ao de biomol´eculas receptoras na superf´ıcie (probes): 1) adsor¸c˜ao, 2) imobiliza¸c˜ao por rea¸c˜oes aleat´orias e 3) imobiliza¸c˜ao por liga¸c˜ao em um s´ıtio espec´ıfico da superf´ıcie, comparando a perda de atividade dos probes imobilizados pelos pro-cessos 1 e 2 em rela¸c˜ao ao 3, que permite uma configura¸c˜ao orientada, adaptado

de [19].

A funcionaliza¸c˜ao da superf´ıcie consiste em formar uma camada ordenada e ho-mogˆenea de mol´eculas funcionais para liga¸c˜ao covalente de biomol´eculas sobre uma superf´ıcie limpa. O processo depende de condi¸c˜oes do meio, como temperatura e for¸ca iˆonica da solu¸c˜ao (buffer ). Torna-se necess´ario o uso de camadas passivan-tes, como polietilenogicol (PEG), comumente utilizado em biossensores,que servem para passivar estados eletrˆonicos, evitando a liga¸c˜ao n˜ao espec´ıfica de mol´eculas in-desejadas. Al´em disso, atua como linker para a liga¸c˜ao de biomol´eculas, facilitando o processo de intera¸c˜ao espec´ıfica com as mol´eculas do analito, pois ´e necess´ario que os receptores estejam a uma certa distˆancia da superf´ıcie e orientados para que a intera¸c˜ao com os targets possa ocorrer [19].

A Figura 3.9 apresenta uma ilustra¸c˜ao da imobiliza¸c˜ao orientada de DNA probe e de um anticorpo. Este precisa ter o s´ıtio ativo para liga¸c˜ao espec´ıfica do ant´ıgeno orientado para que ocorra o reconhecimento.

Dependendo do substrato a ser utilizado (vidro ou semicondutor, por exemplo) e do tipo de biomol´eculas que ser˜ao imobilizadas, existem protocolos que permitem a liga¸c˜ao eficiente dessas mol´eculas [27].

(26)

(a) (b)

Figura 1.6: Representa¸c˜ao da imobiliza¸c˜ao orientada de (a) mol´ecula de ssDNA e (b) anticorpo, adaptado de [19].

1.4

Modos de Transdu¸

ao

Os biossensores podem ser classificados em rela¸c˜ao ao modo de transdu¸c˜ao utili-zado, isto ´e, em rela¸c˜ao ao tipo de propriedade f´ısica ou qu´ımica que ´e medida no processo de detec¸c˜ao biol´ogica [27,28]. Os modos mais comuns encontrados em aplica¸c˜oes cl´ınicas, ambientais e comerciais s˜ao os eletroqu´ımicos e os ´opticos. (i) Biossensores eletroqu´ımicos:

Estes biossensores baseiam-se em quantificar rea¸c˜oes bioqu´ımicas a partir da me-dida de propriedades como corrente el´etrica, concentra¸c˜ao iˆonica e potencial de oxi-redu¸c˜ao. De acordo com a grandeza medida, estes biossensores s˜ao configurados de diferentes formas, podendo ser classificados em amperom´etricos, condutim´etricos e potenciom´etricos. O sensoriamento eletroqu´ımico usualmente requer um eletrodo de referˆencia, um eletrodo auxiliar e um eletrodo de trabalho, tamb´em conhecido como eletrodo sensitivo ou eletrodo redox. O eletrodo de referˆencia, comumente feito de Ag/AgCl ´e mantido a uma certa distˆancia do local ativo onde ocorre a rea¸c˜ao, com o objetivo de manter um potencial est´avel e conhecido. O eletrodo de trabalho atua como elemento de transdu¸c˜ao das rea¸c˜oes bioqu´ımicas, o eletrodo auxiliar estabelece uma conex˜ao com a solu¸c˜ao eletrol´ıtica, e uma corrente pode ser estabelecida at´e o eletrodo de trabalho [29,30].

Nos biossensores amperom´etricos aplica-se um potencial entre dois eletrodos e a grandeza medida ´e a corrente el´etrica produzida pela oxida¸c˜ao ou redu¸c˜ao das esp´ecies eletroativas, dessa forma a medida pode ser relacionada `a concentra¸c˜ao

(27)

do analito [31]. Como em geral as esp´ecies biol´ogicas de interesse podem n˜ao ser eletroativas ´e comum o uso de enzimas como catalizadores da rea¸c˜ao. Um exemplo de biossensor amperom´etrico ´e o sensor de glicose. [32] As t´ecnicas de medidas mais comuns s˜ao a cronoamperometria, onde ´e aplicado um potencial fixo e a resposta da corrente gerada no eletrodo ´e monitorada em fun¸c˜ao do tempo; e a voltametria c´ıclica que consiste na aplica¸c˜ao de um potencial que varia ciclicamente com o tempo, enquanto se mede a resposta da corrente em fun¸c˜ao do potencial aplicado [29].

No caso dos biossensores potenciom´etricos, uma rampa de tens˜ao ´e aplicada a um eletrodo e o parˆametro medido ´e potencial de oxida¸c˜ao ou redu¸c˜ao de uma rea¸c˜ao eletroqu´ımica. Quando a rampa de tens˜ao ´e aplicada, ocorre um fluxo de corrente devido `a rea¸c˜ao e o potencial no qual as rea¸c˜oes ocorrem pode ser relacionado a esp´ecies particulares. A resposta do sensor ´e governada pela equa¸c˜ao de Nernst:

Ecel = Ecel0 −

RT

nF ln Q, (1.1)

Ecelrepresenta o potencial observado no eletrodo da c´elula eletroqu´ımica `a corrente

nula, Ecel0 ´e a contribui¸c˜ao constante para o potencial, R ´e a constante universal dos gases, T ´e a temperatura, n ´e o n´umero de cargas no eletrodo da rea¸c˜ao, F ´e a constante de Faraday e Q ´e a raz˜ao entre as concentra¸c˜oes iˆonicas no anodo e no catodo. Portanto, na detec¸c˜ao potenciom´etrica, deve-se utilizar eletrodos ´ıons seletivos para detectar a varia¸c˜ao na concentra¸c˜ao de ´ıons. Os limites de detec¸c˜ao mais baixos reportados para esse modo de transdu¸c˜ao est˜ao entre 10−8 e 10−11 M [29].

Os biossensores condutim´etricos medem a condutˆancia ou resistˆencia da solu¸c˜ao, aplicando um potencial ac ao eletrodo para evitar efeitos indesejados como proces-sos faradaicos. Como as rea¸c˜oes eletroqu´ımicas produzem ´ıons ou el´etrons, os quais alteram a condutˆancia da solu¸c˜ao, a varia¸c˜ao obtida pode ser ent˜ao calibrada com as esp´ecies reagentes. Esse m´etodo por´em apresenta sensibilidade relativamente baixa.

Outro modo de transdu¸c˜ao associado aos processos eletroqu´ımicos ´e a detec¸c˜ao el´etrica feita por sensores do tipo FET, onde as rea¸c˜oes bioqu´ımicas s˜ao integradas a um semicondutor para medidas da varia¸c˜ao das propriedades el´etricas. Esses biossensores ser˜ao discutidos na se¸c˜ao 1.5 deste cap´ıtulo.

(28)

(ii) Biossensores ´opticos:

Os biossensores ´opticos baseiam-se em m´etodos de transdu¸c˜ao que devem detectar mudan¸cas em propriedades como absor¸c˜ao, fluorescˆencia, fosforescˆencia, quimi-luminescˆencia, refletividade, espalhamento da luz e ´ındice de refra¸c˜ao. Dentre os v´arios m´etodos, os mais comuns s˜ao detec¸c˜ao por fluorescˆencia e por t´ecnicas baseadas em mudan¸ca do ´ındice de refra¸c˜ao, como Ressonˆancia de Pl´asmons de Superf´ıcie (SPR) [33-38].

Um dispositivo baseado em fluorescˆencia monitora a emiss˜ao de radia¸c˜ao ele-tromagn´etica, previamente estimulada por absor¸c˜ao de radia¸c˜ao e subsequente gera¸c˜ao de um estado excitado que existe por um curto intervalo de tempo. As-sim, as mol´eculas podem ser excitadas repetidamente para emitir um sinal de-tect´avel. O sensoriamento por fluorescˆencia pode ocorrer diretamente, monito-rando as biomo-l´eculas antes e depois de uma rea¸c˜ao espec´ıfica, mas em geral ´e necess´ario o uso de marcadores (fluor´oforos), como a prote´ına GFP (green flu-orescent protein), para as biomol´eculas do analito. No entanto, a marca¸c˜ao de biomol´eculas dificulta a detec¸c˜ao de eventos localizados devido ao background de fluorescˆencia. Al´em disso, o processo de marca¸c˜ao tamb´em pode levar a perda de funcionalidade de algumas mol´eculas, por exemplo prote´ınas, e dificultar a in-tera¸c˜ao espec´ıfica, causando perda de sensibilidade e especificidade neste m´etodo. Da´ı, o interesse em t´ecnicas de detec¸c˜ao label-free [38].

O SPR ´e um fenˆomeno ´optico baseado na incidˆencia de um feixe de luz em uma interface de dois meios com constantes diel´etricas de sinais opostos, como um diel´etrico e um metal. A estrutura do sensor consiste no acoplamento de uma interface ´optica que pode ser um prisma, guia de onda ou grade de difra¸c˜ao, com uma fina camada met´alica (geralmente ouro, ou prata). A Figura 1.7 ilustra a configura¸c˜ao mais comum, cujo objeto ´optico ´e um prisma.

Quando a luz incide num prisma, com o ˆangulo de incidˆencia maior que um ˆangulo cr´ıtico θc, ocorre a reflex˜ao interna total. Na configura¸c˜ao do SPR, quando o

prisma ´e coberto por uma camada met´alica, existe um outro ˆangulo θSP R maior

que θc, no qual ocorre a ressonˆancia. Quando o feixe incidente satisfaz a condi¸c˜ao

de ressonˆancia, este excita uma oscila¸c˜ao da densidade de carga (el´etrons livres na superf´ıcie), conhecida como onda de pl´asmons de superf´ıcie, cerca de 100 nm acima e abaixo da camada met´alica. A condi¸c˜ao de ressonˆancia depende do ˆangulo inci-dente, comprimento de onda e fun¸c˜oes diel´etricas do metal e do diel´etrico. Neste

(29)

Figura 1.7: Representa¸c˜ao esquem´atica de um biossensor baseado em res-sonˆancia de pl´asmons de superf´ıcie (SPR). Nesta configura¸c˜ao ´e utilizado um

prisma como objeto ´optico, adaptado de [33].

caso a intensidade da luz refletida diminui e o campo evanescente percorre o meio adjacente ao diel´etrico, cerca de alguns nanometros acima da camada met´alica e decai exponencialmente com a distˆancia acima da superf´ıcie, como ´e indicado pela linha pontilhada na Figura 1.7. Dessa forma, o ˆangulo incidente ressonante no qual pl´asmons de superf´ıcie s˜ao excitados depende criticamente do ´ındice de refra¸c˜ao na superf´ıcie da camada met´alica, isto ´e na interface da camada met´alica e da amostra, que pode ser uma camada de biomol´eculas receptoras, isto ´e elemen-tos de afinidade como anticorpos e ´acidos nucl´eicos. A liga¸c˜ao espec´ıfica entre as biomol´eculas na superf´ıcie leva a uma varia¸c˜ao no ´ındice de refra¸c˜ao e, portanto, no ˆangulo ressonante, e pode ser monitorada em tempo real [36,41].

(iii) Biossensores piezoel´etricos:

Cristais piezoel´etricos s˜ao materiais que tˆem a propriedade de gerar um potencial el´etrico em resposta `a uma for¸ca mecˆanica aplicada ou se deformarem em resposta a um potencial aplicado. A adi¸c˜ao de massa na superf´ıcie de um sensor baseado em um piezoel´etrico leva a uma varia¸c˜ao mensur´avel na frequˆencia de ressonˆancia do cristal. Por exemplo, no caso de um biossensor com oligonucleot´ıdeos imo-bilizados na superf´ıcie de um cristal (tipicamente quartzo) em contato com uma solu¸c˜ao contendo targets, isto ´e, oligonucleot´ıdeos complementares, o processo de hibridiza¸c˜ao (liga¸c˜ao espec´ıfica) implicar´a no aumento da massa na superf´ıcie do

(30)

cristal e uma diminui¸c˜ao proporcional da frequˆencia de ressonˆancia da oscila¸c˜ao do cristal.

O tipo mais comum de biossensor piezoel´etrico ´e a microbalan¸ca de cristal de quartzo (QCM). As principais vantagens desse modo de transdu¸c˜ao consistem na obten¸c˜ao econˆomica de dispositivos que podem ser usados na detec¸c˜ao direta e ”label-free”de ´acidos nucl´eicos. Entretanto, a medida de varia¸c˜ao de massa est´a sujeita a interferˆencia do meio da solu¸c˜ao (buffer ) com a superf´ıcie do cristal, o que implica em uma especificidade relativamente baixa. Existem estudos repor-tados para o desenvolvimento de biossensores baseados em QCM integrados com dispositivos para PCR (Polimerase Chain Reaction), de modo a aumentar a sen-sibilidade do sensor para limites de detec¸c˜ao de concentra¸c˜oes na ordem de pM [42,43].

(iv) Outros modos de detec¸c˜ao:

Al´em dos biossensores mais comuns discutidos at´e agora, existem outros tipos de transdu¸c˜ao baseados em m´etodos magn´eticos, de ressonˆancia ac´ustica e espectros-copia de for¸ca usando pontas de AFM (Atomic Force Microscopy) funcionalizadas [44,45].

Tamb´em s˜ao desenvolvidos outros m´etodos mais simples, por´em com baixa sen-sibilidade como os calor´ımetros, tamb´em conhecidos como biossensores t´ermicos. Estes medem a varia¸c˜ao de entalpia em uma rea¸c˜ao, portanto, s˜ao geralmente baseados em rea¸c˜oes enzim´aticas e s˜ao configurados a partir da imobiliza¸c˜ao de enzimas a um sensor t´ermico, sendo tamb´em conhecidos como termistores en-zim´aticos. Estes apresentam LOD para concentra¸c˜oes entre 10−5 M e 10−1 M. H´a tamb´em biossensores micromecˆanicos que monitoram varia¸c˜oes na frequˆencia de ressonˆancia e mudan¸cas nas for¸cas de superf´ıcie que ocorrem devido `a adsor¸c˜ao de biomol´eculas na superf´ıcie. Sensores deste tipo reportados para detec¸c˜ao de gli-cose consistem da imobiliza¸c˜ao da enzima GOx em microalavancas e apresentam

respostas mensur´aveis na faixa de 10−2 M e 10−3 M [19].

1.5

Biossensores do tipo FET

Nas ´ultimas d´ecadas, o uso de biossensores baseados em dispositivos semiconduto-res de efeito de campo tem apsemiconduto-resentado grande intesemiconduto-resse devido `as vantagens que

(31)

esses dispositivos apresentam em rela¸c˜ao aos outros tipos de biossensores apresen-tados. Por exemplo, a detec¸c˜ao el´etrica r´apida de eventos biol´ogicos na superf´ıcie, a possibilidade de miniaturiza¸c˜ao e integra¸c˜ao de arrays para produ¸c˜ao em larga escala, a alta sensibilidade que apresentam e a detec¸c˜ao label-free, isto ´e, sem a necessidade de marca¸c˜ao pr´evia do analito, s˜ao algumas vantagens atrativas para o estudo desses biossensores. Biossensores do tipo FET reportados na li-teratura fabricados com nanofios semicondutores ou superf´ıcies modificadas com nanopart´ıculas apresentam alta sensibilidade, com limite de detec¸c˜ao para con-centra¸c˜oes da ordem de f M [46-49]. O processo de detec¸c˜ao ocorre por efeito do campo el´etrico devido `a distribui¸c˜ao de cargas na superf´ıcie. Dessa forma, a liga¸c˜ao espec´ıfica de biomol´eculas carregadas aos receptores imobilizados na su-perf´ıcie causa uma varia¸c˜ao na densidade de cargas e o campo el´etrico resultante modula a largura da camada de deple¸c˜ao no semicondutor, modulando, portanto, a condutˆancia [50,51]. A seguir ser´a descrito o princ´ıpio de funcionamento de um FET e em seguida ser´a feita uma analogia para o mecanismo de detec¸c˜ao no biossensor.

1.5.1

Estrutura de um FET

Um transistor de efeito de campo (FET) ´e um dispositivo com trˆes terminais principais gate (porta), dreno e fonte, onde a corrente entre os dois ´ultimos ´e modulada pela tens˜ao aplicada no gate. Usualmente, coloca-se um diel´etrico entre o semicondutor e o contato el´etrico do gate, para evitar condu¸c˜ao direta entre eles. A configura¸c˜ao dos portadores pr´oximo da interface entre o semicondutor e o diel´etrico depender´a da tens˜ao aplicada e do tipo de portadores majorit´arios do semicondutor (el´etrons para tipo-n ou buracos para tipo-p).

Para um semicondutor do tipo-p, uma tens˜ao positiva no gate levar´a a uma de-ple¸c˜ao dos buracos abaixo da superf´ıcie, enquanto que uma tens˜ao negativa levar´a a uma acumula¸c˜ao de portadores nessa regi˜ao. O contr´ario ocorre para um se-micondutor do tipo-n, mas dependendo da tens˜ao aplicada podem ocorrer outras configura¸c˜oes como acumula¸c˜ao e invers˜ao.

A Figura 1.8 ilustra o diagrama de bandas para os modos de deple¸c˜ao, acumula¸c˜ao e invers˜ao para uma estrutura capacitiva MIS (Metal-Isolante-Semicondu-tor), que constitui o dispositivo b´asico para o funcionamento dos FETs [52].

(32)

Figura 1.8: Diagramas de bandas de energia para uma estrutura capacitiva MIS nos modos: (a) acumula¸c˜ao, (b) deple¸c˜ao e (c) invers˜ao, adaptado de [52].

O n´ıvel de Fermi EF encontra-se pr´oximo da banda de condu¸c˜ao para o

semicon-dutor do tipo-n e, pr´oximo da banda de valˆencia para tipo p. A aplica¸c˜ao de um potencial negativo V < 0, Figura 1.8(a), causar´a um band bending para cima da estrutura de bandas, pr´oximo da interface, o que causa um aumento na diferen¸ca de energia Ei− EF, onde Ei ´e o n´ıvel de Fermi intr´ınsico. Como a concentra¸c˜ao de

buracos varia exponecialmente com a diferen¸ca Ei− EF, este band bending levar´a

a um aumento na concentra¸c˜ao de buracos, o que corresponde ao modo de acu-mula¸c˜ao. No caso do semicondutor tipo-n, para haver acumula¸c˜ao de portadores deve ser aplicada uma tens˜ao V > 0, que levar´a a um band bending para baixo, aumentando a diferen¸ca EF− Ei e, portanto aumento da concentra¸c˜ao de el´etrons

pr´oximo `a superf´ıcie. No modo de deple¸c˜ao, Figura 1.8 (b), uma tens˜ao positiva V > 0 depleta os buracos no semicondutor do tipo-p, com um band bending para baixo e uma tens˜ao negativa depleta os el´etrons no semicondutor tipo-n, com um band bending para cima. Aplicando uma tens˜ao maior, de modo que o n´ıvel Ei

atravesse o n´ıvel de Fermi EF como ilustra a Figura 1.8 (c), ocorrer´a a forma¸c˜ao

de uma camada de invers˜ao, com um ac´umulo de el´etrons (buracos) pr´oximo `a su-perf´ıcie do semicondutor tipo-p (tipo-n). A concentra¸c˜ao de el´etrons np pr´oximo

(33)

`

a superf´ıcie no semicondutor tipo-p, por exemplo, ser´a maior que a concentra¸c˜ao intr´ınseca ni e a concentra¸c˜ao de buracos pp ser´a menor que ni.

A largura W da regi˜ao de deple¸c˜ao depende da varia¸c˜ao de potencial na regi˜ao do band bending da seguinte forma [52,53]:

W = s

2∆V0

qND

, (1.2)

 ´e a permissividade diel´etrica, q ´e a carga elementar e ND ´e a concentra¸c˜ao de

portadores. O gr´afico da Figura 1.9 a seguir apresenta a varia¸c˜ao da largura W com ∆V0 para o semicondutor InP com diferentes concentra¸c˜oes de portadores.

Figura 1.9: Varia¸c˜ao da largura da regi˜ao de deple¸c˜ao em fun¸c˜ao do potencial de band bending para InP com diferentes concentra¸c˜oes de portadores.

Vemos que a largura da regi˜ao de deple¸c˜ao ´e duas ordens de grandeza maior para os casos em que a concentra¸c˜ao de portadores ´e da ordem de 1014cm−3 em rela¸c˜ao aos

casos com 1018 cm−3. Ent˜ao, para os semicondutores mais dopados ´e necess´aria a aplica¸c˜ao de um potencial maior na superf´ıcie para obter uma largura de deple¸c˜ao compar´avel `a das amostras com concentra¸c˜ao de portadores pequena.

(34)

No FET a corrente el´etrica a partir da aplica¸c˜ao de uma tens˜ao entre a fonte e o dreno, depender´a da tens˜ao aplicada no gate, a qual vai modular a largura do canal de condu¸c˜ao formado. Uma tens˜ao VG negativa aumenta a largura da regi˜ao

de deple¸c˜ao no semicondutor do tipo-n, diminuindo a condutˆancia do canal. Os dispositivos do tipo FET podem apresentar diferentes configura¸c˜oes como mostra o diagrama da Figura 1.10. .

Figura 1.10: Diferentes configura¸c˜oes para dispositivos do tipo FET, adaptado de [52].

1.5.2

Estrutura do biossensor

A dependˆencia da condutˆancia do dispositivo com a tens˜ao aplicada no gate faz com que os transistores de efeito de campo sejam dispositivos promissores em aplica¸c˜oes de sensoriamento. Por exemplo o ISFET (Ion Sensitive Field Ef-fect Transistor), comumente aplicado na detec¸c˜ao de pH, ´e uma modifica¸c˜ao do MOSFET (Metal-Oxide Semicondutor Field Effect Transistor ) em que o contato met´alico da porta ´e substitu´ıdo por uma solu¸c˜ao eletrol´ıtica e um eletrodo de referˆencia [54,55].

No caso deste biossensor, o campo el´etrico das biomol´eculas na superf´ıcie pode ser associado `a tens˜ao aplicada na porta, modulando a deple¸c˜ao ou acumula¸c˜ao de portadores. A Figura 1.11 ilustra o funcionamento de um FET baseado em Si tipo-p. A aplica¸c˜ao de um potencial negativo na porta leva a um ac´umulo de portadores majorit´arios pr´oximo `a superf´ıcie e, portanto, a um aumento da condutˆancia. Em analogia, substituindo o contato da porta por uma camada de biomol´eculas com carga negativa, tamb´em ocorrer´a um ac´umulo de cargas positivas pr´oximo `a superf´ıcie [56].

(35)

Figura 1.11: Princ´ıpio de funcionamento de um transistor de efeito de campo, ou FET (a) e um biossensor tipo FET (b), baseados em Si. Nos dois casos, cargas negativas no contato da porta ou na superf´ıcie do nanofio levam ao aumento da

condutˆancia entre fonte (F) e dreno (D), adaptado de [56].

O processo de funcionaliza¸c˜ao da superf´ıcie constitui um fator cr´ıtico para a sensi-bilidade e especificidade do biossensor. O caso ideal para dispositivos do tipo FET ´

e a imobiliza¸c˜ao covalente de biomol´eculas na superf´ıcie limpa de um substrato se-micondutor, utilizando linkers espec´ıficos, com o objetivo de obter uma alta den-sidade de s´ıtios doadores para a liga¸c˜ao espec´ıfica das biomol´eculas. Al´em disso, isto permite passivar a superf´ıcie para obter uma densidade suficientemente baixa de estados eletrˆonicos na superf´ıcie do semicondutor, que podem interferir nas propriedades eletrˆonicas da heteroestrutura semicondutor/biomol´eculas [57,58]. As propriedades das biomol´eculas dependem fortemente das condi¸c˜oes do meio (solu¸c˜ao). Na estrutura de uma prote´ına, existem grupos que podem sofrer pro-tona¸c˜ao (adi¸c˜ao de H) ou desprotona¸c˜ao (retirada de H), alterando a carga el´etrica total da mol´ecula. Assim, a configura¸c˜ao de cargas depende do pH da solu¸c˜ao [59,60].

O pH, ou potencial hidrogeniˆonico, est´a relacionado `a atividade dos ´ıons H+

presentes na solu¸c˜ao:

(36)

A atividade iˆonica aH+ ´e proporcional `a concentra¸c˜ao por um coeficiente de

ati-vidade que depende da intera¸c˜ao com os ´ıons da solu¸c˜ao. Para solu¸c˜oes dilu´ıdas, abaixo de 0,1 mol dm−3, o coeficiente de atividade ´e approximadamente 1 de modo que: aH+ ' [H+]. Desse modo:

pH = − log10[H+] (1.4)

Ou seja, quanto maior a concentra¸c˜ao de ´ıons H+, menor o pH. O ponto isoel´etrico

(pI) de uma biomol´ecula ´e o pH onde ela se encontra eletricamente neutra; quando o pH ´e menor que o pI de uma prote´ına, esta encontra-se carregada positivamente e quando pH ´e maior que o pI, encontra-se carregada negativamente.

Portanto, os processos de funcionaliza¸c˜ao da superf´ıcie, imobiliza¸c˜ao de biomol´ e-culas e medidas de detec¸c˜ao devem ser realizados em solu¸c˜oes tamp˜oes (buffers) para manter a for¸ca iˆonica do meio est´avel.

No caso da mol´ecula de DNA, a concentra¸c˜ao iˆonica da solu¸c˜ao vai interferir na conforma¸c˜ao da mol´ecula e no processo de hibridiza¸c˜ao. A solu¸c˜ao comumente uti-lizada ´e o buffer TRIS (tris(hydroxymethyl)aminomethane), que possui pH 7,4, que corresponde ao pH do meio intracelular, onde as mol´eculas de DNA s˜ao est´aveis. Como as medidas de detec¸c˜ao no biossensor do tipo FET s˜ao feitas em buffer a resposta do dispositivo tamb´em ser´a influenciada pela concentra¸c˜ao iˆonica, visto que biomol´eculas carregadas ser˜ao eletricamente ’blindadas’, pelos ´ıons de carga oposta, na solu¸c˜ao em um comprimento caracter´ıstico conhecido como compri-mento de Debye (λD). Como a mol´ecula de DNA que possui carga negativa,

haver´a por intera¸c˜ao eletrost´atica a presen¸ca de ´ıons positivos da solu¸c˜ao ao seu redor. No comprimento λD o n´umero de cargas positivas se aproxima do n´umero

de cargas negativas, fazendo com que o potencial eletrost´atico do DNA decaia exponencialmente com a distˆancia [61]. Para solu¸c˜oes aquosas em temperatura ambiente, o comprimento de Debye pode ser expresso como [61]:

λD =

1

p4πlBPiρizi2

, (1.5)

lB ´e o comprimento Bjerrum (= 0,7 nm, para solu¸c˜oes aquosas em 300 K), ρi ´e

(37)

iˆonicas da solu¸c˜ao. Essa express˜ao mostra a dependˆencia de λD com a concentra¸c˜ao

iˆonica da solu¸c˜ao.

O comprimento de Debye representa um fator importante no desempenho de bi-ossensores de efeito de campo, de modo que a detec¸c˜ao ser´a feita apenas para mol´eculas que est˜ao at´e uma distˆancia λD da superf´ıcie. A Figura 1.12 ilustra

uma compara¸c˜ao do comprimento de Debye para solu¸c˜oes com diferentes for¸cas iˆonicas, no caso de uma mol´ecula de DNA imobilizada na superf´ıcie do sensor.

Figura 1.12: Representa¸c˜ao esquem´atica de uma mol´ecula de DNA imobi-lizada covalentemente na superf´ıcie de um sensor FET e os comprimentos de

Debye λD para solu¸c˜oes com diferentes for¸cas iˆonicas, adaptado de [47].

Portanto, reduzindo a for¸ca iˆonica do buffer, ´e poss´ıvel detectar eventos de reco-nhecimento biol´ogico em comprimentos maiores acima da superf´ıcie do biossensor. A intera¸c˜ao do buffer com a camada funcionalizada tamb´em leva a a uma varia¸c˜ao do potencial el´etrico no semicondutor devido a um efeito capacitivo que surge por conta dos ´ıons pr´oximos a superf´ıcie. Esse efeito modula a configura¸c˜ao dos

(38)

portadores no biossensor. Ent˜ao ´e necess´ario um tempo para estabiliza¸c˜ao quando a solu¸c˜ao ´e inserida no dispositivo.

Os biossensores do tipo FET tamb´em podem ser aplicados no estudo da afinidade de liga¸c˜ao molecular das esp´ecies biol´ogicas, utilizando um modelo baseado em isoterma de Langmuir [6, 40]. As constantes de associa¸c˜ao e de equil´ıbrio podem ser quantificadas de acordo com a resposta do sensor. Resumidamente, para bi-ossensores a varia¸c˜ao da condutˆancia (ou resistˆencia) pode ser ajustada a uma fun¸c˜ao F (x), relacionada `a concentra¸c˜ao de ligantes, onde:

F (x) = Kmax· x x + Kd

(1.6)

No modelo de Langmuir, Kmax ´e a constante de adsor¸c˜ao m´axima das biomol´

e-culas do analito (ligantes) na superf´ıcie, e KD ´e a constante de equil´ıbrio, que

depende da intera¸c˜ao dos ligantes com o solvente (buffer TRIS) e com os recep-tores imobilizados na superf´ıcie. Essa constante de equil´ıbrio est´a relacionada `a afinidade de liga¸c˜ao entre as biomol´eculas, representando a concentra¸c˜ao do ligante para a qual metade dos receptores estar˜ao ligados [62].

1.5.3

Biossensor de InP

Foi desenvolvido anteriormente em nosso grupo, um biossensor de fosfeto de ´ındio (InP) cujo princ´ıpio de funcionamento baseia-se no dispositivo FET, mas neste caso o contato da porta ´e substitu´ıdo pela camada funcionalizada que cont´em as biomol´eculas, como ´e ilustrado na Figura 1.13 [63,64].

Figura 1.13: Representa¸c˜ao de um (a) FET e (b) biossensor de InP do tipo FET, onde o contato da porta foi substitu´ıda por uma camada de biomaterial.

(39)

O dispositivo foi feito com um filme fino de InP tipo-n com dopagem residual, resultando numa concentra¸c˜ao de portadores da ordem 1016cm−3. A camada foi

crescida com aproximadamente 300 nm de espessura sobre um substrato de InP semi-isolante. Nas laterais da amostra foram feitos dois contatos ˆohmicos de ´ındio (In), nos quais foi aplicada uma ddp. As biomol´eculas carregadas que interagem especificamente com os receptores na superf´ıcie modulam a camada de deple¸c˜ao no filme fino semicondutor, variando a resistˆencia do canal de condu¸c˜ao. Essa varia¸c˜ao ´e relacionada com a concentra¸c˜ao de biomol´eculas no analito.

Foram analisados 3 sistemas de intera¸c˜ao neste biossensor: hibridiza¸c˜ao de fitas simples de DNA complementares, a prote´ına de ades˜ao Xf.XadA1 da bact´eria Xylella fastidiosa e o anticorpo espec´ıfico Anti-Xf.XadA1, e a prote´ına CB-22 do v´ırus CTV (Citrus Tristeza Virus) com o seu anticorpo espec´ıfico 37.d.09. O processo de funcionaliza¸c˜ao foi analisado por microscopia de fluorescˆencia e apresentou-se eficaz para os 3 sistemas estudados. Os resultados apresentaram alta sensibilidade para detec¸c˜ao de concentra¸c˜oes de 1 pM para o sistema DNA:DNA e de aproximadamente 2 nM para os sistemas de intera¸c˜ao espec´ıfica das prote´ınas. A detec¸c˜ao para o sistema do CTV apresentou sensibilidade 2 ordens de grandeza maior que m´etodos baseados em ELISA encontrados na literatura. Para o sistema do DNA, m´etodos baseados em PCR apresentam detec¸c˜ao m´ınima da ordem de µM e resultados reportados para uma plataforma FET baseada em sil´ıcio amorfo apresentam sensibilidade para detec¸c˜ao de 50 nM. Desta forma, a sensibilidade neste caso ´e quatro ordens de grandeza menor que o valor de 1 pM encontrado no biossensor de InP de grande ´area [64].

Este trabalho, por´em, n˜ao identificou as causas para a alta sensibilidade obser-vada para o biossensor de InP de grande ´area, compar´avel a dispositivos de maior complexidade baseados em nanomateriais. Desta forma, ´e necess´ario estudar com maior detalhe como as propriedades do semicondutor afetam a resposta e a sensi-bilidade do dispositivo.

Os principais objetivos deste trabalho incluem a prepra¸c˜ao de biossensores de InP, com diferentes amostras (variando a espessura e a concentra¸c˜ao de portadores do filme fino semicondutor) para avaliar a sensibilidade do dispositivo. Inclui tamb´em a an´alise da funcionaliza¸c˜ao em nano escala, com medidas de potencial de superf´ıcie atrav´es do m´etodo Kelvin Probe Force Microscopy.

(40)

A metodologia utilizada na prepara¸c˜ao e funcionaliza¸c˜ao das amostras, na monta-gem do biossensor e as t´ecnicas para as medidas el´etricas de detec¸c˜ao e de potencial de superf´ıcie s˜ao apresentadas no cap´ıtulo 2 desta disserta¸c˜ao. O cap´ıtulo 3 mos-tra os resultados obtidos e no cap´ıtulo 4 ´e feita uma discuss˜ao com as conclus˜oes gerais do trabalho.

(41)

Cap´ıtulo 2

Metodologia experimental

Este trabalho consiste em estudar a sensibilidade do biossensor de InP do tipo FET, cujo modo de transdu¸c˜ao se baseia em efeito de campo el´etrico devido `a densidade superficial de cargas das biomol´eculas imobilizadas na superf´ıcie. A estrutura do biossensor ´e representada esquematicamente na Figura 2.1.

Figura 2.1: Representa¸c˜ao da estrutura do biossensor de InP. Um filme fino de InP tipo-n ´e crescido sobre um substrato de InP semi-isolante. Os contatos el´etrico de In (em amarelo) foram feitos nas laterais da superf´ıcie do dispositivo, definido uma ´area ativa (verde) do dispositivo. A parte superior da figura representa a funcionaliza¸c˜ao com uma camada de etanolamina (azul), camada PEG, as biomol´eculas receptoras imobilizadas e os ligantes que ser˜ao detectados

atrav´es de intera¸c˜ao espec´ıfica com os receptores, adaptado de [64].

A metodologia do trabalho se baseia em preparar dispositivos utilizando amostras de InP com diferentes propriedades, como espessura e concentra¸c˜ao de portado-res. Para isso ´e necess´ario fazer os contatos el´etricos, em seguida funcionalizar a

(42)

superf´ıcie para a imobiliza¸c˜ao das biomol´eculas receptoras e realizar as medidas el´etricas de detec¸c˜ao do biossensor. Tamb´em foram preparadas amostras, seguindo o protocolo de funcionaliza¸c˜ao do biossensor [64], para an´alise por Kelvin Probe Force Microscopy (KPFM).

A seguir ser˜ao apresentadas as t´ecnicas utilizadas na prepara¸c˜ao da amostras, nas medidas el´etricas do biossensor e na caracteriza¸c˜ao das amostras funcionalizadas.

2.1

Prepara¸

ao das amostras

2.1.1

Epitaxia de Feixe Qu´ımico (CBE)

Os filmes de InP utilizados neste trabalho foram crescidos utilizando um sistema CBE, modelo Riber 32, instalado no Instituto de F´ısica Gleb Wataghin da Univer-sidade Estadual de Campinas. Um esquema simplificado do equipamento pode ser visto na Figura 2.2. Nesta t´ecnica, o crescimento ´e realizado em ultra alto v´acuo, mas utilizando fontes que est˜ao na forma gasosa ou vapor a temperatura ambiente [66]. Neste sistema, trimetil-´ındio (TMI) e trietil-g´alio (TEG) s˜ao utilizados como precursores do grupo III, enquanto que arsina (AsH3) e fosfina (PH3) s˜ao utili-zados como precursores do grupo V. Os vapores de organomet´alicos (utilizados com H2 como g´as de arraste) sofrem pir´olise na superf´ıcie do substrato aquecido

durante o crescimento. J´a os precursores do grupo V s˜ao decompostos em um feixe molecular de d´ımeros do grupo V atrav´es de um craqueador a alta temperatura ( 1000-1100 °C) antes de entrarem na cˆamera de crescimento. Sil´ıcio e ber´ılio s˜ao utilizados como dopantes n e p, respectivamente. Neste caso, o controle do fluxo ´e feito atrav´es da temperatura da c´elula de efus˜ao (tipicamente na faixa de 800-1200 °C) onde est˜ao os elementos em fase s´olida. A espessura do filme de InP ´e contro-lada atrav´es da varia¸c˜ao do tempo de crescimento. Nas amostras utilizadas neste trabalho, mantivemos as condi¸c˜oes de fluxo de TMI e PH3 constantes, e variamos a espessura, dopagem e temperatura de crescimento dos filmes de InP, conforme discutido na se¸c˜ao 2.1.

(43)

Figura 2.2: Esquema simplificado do sistema CBE instalado no IFGW da Unicamp. Precursores do material do grupo III (TEG e TMI), juntamente com seu g´as de arraste (H2), e precursores do grupo V (P H3 e AsH3) craqueados

termicamente s˜ao introduzidos em uma cˆamera de crescimento que est´a em alto v´acuo (inicialmente em ultra alto v´acuo). As paredes da cˆamara de crescimento s˜ao resfriadas com nitrogˆenio l´ıquido para ajudar a manter press˜ao baixa durante o crescimento e tamb´em capturar os precursores que tenham dessorvido do

substrato [67].

2.1.2

Crescimento e caracteriza¸

ao das amostras

semicon-dutoras

Para estudar a resposta do biossensor em rela¸c˜ao `as propriedades el´etricas do se-micondutor, foram crescidas por Chemical Beam Epitaxy (CBE) 3 amostras de filmes finos de InP sobre substrato de InP (100) semi-isolante. Os filmes apre-sentaram dopagem residual, a qual varia dependedo das condi¸c˜oes da cˆamara no sistema CBE, e uma amostra com dopagem de Si. A Tabela 2.1 ilustra as proprie-dades das amostras crescidas. A caracteriza¸c˜ao das propriedades do semicondutor foram feitas por medidas de Efeito Hall, realizadas no sistema ECOPIA do LA-MULT/IFGW. Os valores para a concentra¸c˜ao de portadores, mobilidade e resis-tividade apresentados na Tabela 2.1 s˜ao uma m´edia dos resultados de 4 medidas Hall para cada amostra. Todas as amostras apresentaram concentra¸c˜ao de porta-dores do tipo n. As amostras InP#3227, InP#3235 e InP#3228 foram crescidas com dopagem residual, a primeira amostra tem concentra¸c˜ao de portadores da or-dem de 1015cm−3 e as amostras InP#3235 e InP#3228, 1014cm−3, sendo portanto

(44)

mais resistivas que a primeira. A concentra¸c˜ao de portadores da amostra dopada com Si ´e da ordem de 1018cm−3, assim essa amostra apresenta uma resistividade

muito pequena em rela¸c˜ao `as outras amostras. A espessura das amostras varia proporcionalmente ao tempo de crescimento no CBE.

Tabela 2.1: Valores m´edios para a concentra¸c˜ao e mobilidade de portadores e resistividade do filme fino de InP. Estes valores foram obtidos atrav´es de 4 medidas Hall. Tamb´em s˜ao apresentados o tempo de crescimento das amostras

no CBE e a espessura nominal relacionada.

As amostras foram clivadas nas dimens˜oes de 15 mm x 7 mm para a montagem do dispositivo. Nas laterais da amostra foram feitos contatos el´etricos de In, atrav´es de difus˜ao em 450 °C por 15 min em atmosfera de N2, de modo a obter

contatos ˆohmicos, isto ´e, diminuir a barreira de potencial de contato entre o metal e o semicondutor, obtendo uma resistˆencia de contato baixa. As curvas I x V apresentaram comportamento linear nas medidas realizadas na rampa de tens˜ao entre -100 mV e 100 mV. Os contatos de In funcionam como contatos da fonte e dreno, em analogia com um disposito FET. O contato da porta ´e substitu´ıdo pela camada de biomol´eculas.

2.1.3

Funcionaliza¸

ao da superf´ıcie

Para este projeto foram sintetizadas pela Thermo Scientific fitas simples de ssDNA com 80 pares de bases, com modifica¸c˜ao amina (N H2) na termina¸c˜ao 5’,

consti-tuindo as mol´eculas de probe ssDNA imobilizadas na superf´ıcie e utilizadas como receptores no biossensor, e fitas ssDNA complementares correspondentes, consti-tuindo as mol´eculas de target ssDNA utilizadas no analito nas medidas de detec¸c˜ao. Ap´os o processamento dos contatos el´etricos, as amostras foram funcionalizadas para a imobiliza¸c˜ao dos receptores (probe ssDNA) na superf´ıcie. A Figura 2.3

(45)

mostra as etapas do protocolo utilizado. O processo de funcionaliza¸c˜ao consiste na oxida¸c˜ao da superf´ıcie, amina¸c˜ao, funcionaliza¸c˜ao com polietileno glicol e imo-biliza¸c˜ao covalente de ssDNA [63,64].

Figura 2.3: Etapas do processo de funcionaliza¸c˜ao da superf´ıcie: 1.Oxida¸c˜ao; 2.Amina¸c˜ao; 3.Camada PEG e 4.Imobiliza¸c˜ao covalente de probe ssDNA,

adap-tado de [65].

O protocolo utilizado ´e descrito a seguir.

As amostras com os contatos el´etricos passaram por um processo de limpeza em ultra-som com acetona, isopropanol e ´agua deionizada durante 15 min em cada solvente. Em seguida foi feita uma limpeza em plasma de O2 (100 mTorr, 50 sscm,

40 Watts), por 10 min, para aumentar a densidade de grupos hidroxilas (OH) na superf´ıcie. Ent˜ao dois fios de cobre foram soldados nos contatos el´etricos.

Para a amina¸c˜ao da superf´ıcie, isto ´e, gera¸c˜ao de grupos amina (NH2), as amostras foram incubadas em uma solu¸c˜ao de 5 M de hidr´oxido de etanolamina em DMSO (Dimethyl Sulfoxide), pr´e-aquecida por 1 h em 60 °C, com agita¸c˜ao de 5 em 5 min para obter uma solu¸c˜ao homogˆenea. A superf´ıcie da amostra foi totalmente coberta com essa solu¸c˜ao e depois colocou-se um cover slip sobre os contatos para evitar evapora¸c˜ao. Ap´os 12 h, as amostras foram lavadas em DMSO, e duas vezes com ´agua DI, depois secadas com fluxo de N2.

Ap´os a amina¸c˜ao da superf´ıcie, foi feito o processo de funcionaliza¸c˜ao com po-lietilenoglicol do tipo NHS-PEG-COOH, que ´e uma mol´ecula heterobifuncional com uma termina¸c˜ao ´ester (NHS), que vai ligar aos grupos amina, e a outra ter-mina¸c˜ao sendo um grupo carboxila (COOH) que vai ficar exposto para a imobili¸c˜ao das mol´eculas de ssDNA. A camada PEG serve como linker para a imobiliza¸c˜ao de probe ssDNA e como passiva¸c˜ao da superf´ıcie contra a adsor¸c˜ao de outras

Referências

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