Х
Х
Х Х
Х
Х Х
Х
Х
Х
Х
Х
Э
Х
Ю
г г
1,*,
г г
2,
г г
1б г г
21 а , г - а а, з, йееем , а а
2 а А а , г а ая, кн, йееие , а а
Э 10.01.2013; online 28.03.2013)
- .
п г в
– в
б « »г
Х : , б в
б .
PACS numbers: 42.82.Cr, 81.16.Nd
*ponomareva_a_a@pochta.ru 1.
[1, 2]г
[3]. в
в
proton beam writing (PBW).
б
б
в
в
г
PBW в
б в
в
в
г
[4, 5] в
Э Ю
в
. в
г
( Ю в
.
2. А А Х А АХ
Х А Щ Х в
А
в
[6]б г 1.
г 1–
: 1 -
р з– р
3 – р
4 – р к–
в
г в
в
в
б
в
[7]г
PSM-2010, GOOD WILL
INSTRU-MENT CO., LTD,
1 A ( 10 A). в в в
в
г
б
« в
» Э Ю [8]г в
б
в
г
б в
г
б
г
б
в
± 500 г
Э в
Ю зее г
в
б
б
в
г в
в
зкбй г в
в
г
2,3 В 2,2 2 зек 18 б ое %
г
3. А Х Х А Х
Ч А Х А Х А Х
А Х
гз
в
Э Юг в
п
а0 1,95 – б
р а1 2,54 р
а2 0,0394 р а3 0,7854 р а4 0,0394 р–
р L1L4 0,07141 р
L2L3 0,05067 р – р
g 0,236 – б в
г
г в
г в
г
б
в
Эd × dЮг в
в
.
г 2–
б
б в
- в
б
в
г в
в
б ЭI3 I4Ю в
б Эx, yЮг
ЭI1 I2),
в
в
б г г в
г
г б в б
Adг в
в
г в
-б
жб
в г
Ā1,0А1,0 / S
в
к∙же– 4
жбй d 1 б
Sd2 г в
б в
б
в
в
г в
г Ib∙ б b
, г b в
б п
max(I)/Sb∙maxЭ )/S b∙цS/S,
S– бAS–
1– - б в Dx Dy 23,5 23,5
– 48,6 118,7
<xдx' >,
<yдy' уб дЭ %Ю
<x/x'3>, <x/x'y'2>, <y/y'3>,
<y/y'x'2уб д 3
– 526 – 160 932 264 38 264
881 – 465 – 6328 – 12458 2867 5099
Ā1,0, 2 0,67 1,78
4. А Х Х
А А Х АХ Ав
Ч АХ Х Щ Х
в
в
S 4 2г
в
б
в
г в
в
в
[о]г
rx ry 90 220 2
Rx Ry 160 180 2б в
dx dy 2,0 1,8 2ЭыWэMЮ в
I 700 г
гиб
ме % г
г 3–
J(x, y) c д 2
в
жбй в
г в
же б в
в
б
,
II ΔIrms (719 69) г
в
б
в
г в
в
г
г в
зкбй м
ЭSEE). SEE
б
в
[же]г в
в fx б п 0 0 ( , , , , , ) ( ( ) ( )) ( ) ( ) ( )
2 ln 2
1 ( )
2
x x
a
x
f X d a x x a J x
J x dx J a
Erf a X
d
2 0 2 ln2 ln16exp ( ) ,
x x a X d d
(1)
– б вв
р
– б в
р
–б р
Erf(z)– ра–
x рdx–
J(x).
б
xX0 :
2 0 2
2 ln2 ln16
( ) exp ( ) .
x x
J x x X
d
d
(2)
ЭжЮ в
в в
- г в
г 4–
г
dx, dy г
гйб б
г
в
б в
SEE зе в
г в
п
đx(FWHM) 2,72 0,29 р đy(FWHM) 1,51 0,14 г
б
j 123 / 2б
j 37 / 2б
б ме %
б
90 %г в
[5].
5. А Ч
в
п в
(j 123 / 2)
в
« в
» (j 37 / 2)г
б
,
в
б в
PBW.
The Precision Proton Beam Formation in the Probe System with Individual Power Supplies
of Magnetic Quadrupole Lenses (Experimental Results)
A.A. Ponomarova
1, D.V. Magilin
2, G.S. Vorobjov
1, A.G. Ponomarev
21Sumy State University, 2, Rimsky-Korsakov Str., 40007 Sumy, Ukraine
2 Institute of Applied Physic, NAS of Ukraine, 58, Petropavlovskaya Str,. 40030 Sumy, Ukraine
Justified the search of new probe systems to forming MeV energy proton beams in high resolution lith-ographic techniques. To produce description of the nuclear scanning microprobe and experimental condi-tions to determine parameters of the generated beam: the current and the size of the probe. The processing of the experimental data showed, that more than triple of current density increase in the probe for the new probe system - quadruplet of magnetic quadrupole lenses with individual power supplies compared to the conventional system of distribution "Russian quartet".
Keywords: Magnetic quadrupole lense, Proton beam writing, Proton beam, Nuclear scanning microprob.
Х
і
Х
Х
і Х
і Х
іХ Хі
і
Х
в
Х
Х
і
Х
Х і
Э
Ю
г г
1б г г
2б г г
1б г г
21 а , г - а а, з, йееем , а а
2 а А а , г а ая, кн, йееие , а а
ґ
г в
п г в
– в
б в
« »г
іХ : , б б в
г
Х А
1. F. Watt, M. Breese, A. Bettiol, J.A. van Kan, Mater. Today
10 No6, 20 (2007).
2. . . , . . , . . ,
. . , 182 No3, 287 (2012)
(A.D. Pogrebnjak, A.G. Ponomarev, A.P. Shpak, Yu.A. Kunitskii, Phys. Usp.55 270 (2012)).
3. J.A. van Kan, A.A. Bettiol, F. Watt, Nano Lett. 6, 579 (2006).
4. G. Ponomarev, G.S. Vorobjov, A.A. Ponomarova, Radioe-lectronics and Communications Systems 53 No2, 113 (2010).
5. A.A. Ponomarova, K.I. Melnik, G.S. Vorobjov, A.G. Ponomarev, Nucl. Instrum. Meth. B269, 2202 (2011).
6. D.V. Magilin, A.G. Ponomarev, V.A. Rebrov, N.A. Sayko, K.I. Melnik, V.I. Miroshnichenko, V.Y. Storizhko, Nucl. Instrum. Meth. B267, 2046 (2009).
7. V.A. Rebrov, A.G. Ponomarev, V.K. Palchik, N.G. Melnik, Nucl. Instrum. Meth. B260, 34 (2007).
8. . . , . . , . . , 35 No3, 431 (1965).
9. A.A. Ponomarov, V.I. Miroshnichenko, A.G. Ponomarev, Nucl. Instrum. Meth. B267, 2041 (2009).
