Magnetron sputtering
Construção de um aparato experimental para monitoramento in situ da deposição de filmes finos de titânio por magnetron sputtering
... O sistema do magnetron sputtering foi concluído e caracterizado, especificamente para realização deste trabalho de dissertação com a colaboração do Prof. Dr. Edalmy Almeida de Oliveira da UFRN. Este ...
94
Wear and Corrosion Resistance of CrN-based Coatings Deposited by R.F Magnetron Sputtering
... dual magnetron sputtering system (NORDIKO ...the sputtering rate and to modify the composition of the CrXN ...optimized sputtering rate to yield a uniform 0,7- ,8 µm thick films of desired ...
6
Optical and Structural Study of ZnO Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering at Different Thicknesses: a Comparison with Single Crystal
... PLASSYS-MP600S deposition system was used to elaborate Zinc oxide films using RF magnetron sputtering. Si (100) and glass substrates were used to prepare the films. The purity and the diameter of the zinc ...
6
Films Deposited Through Grid-Assisted Magnetron Sputtering on Glass Substrate: Electrical and Optical Analysis
... conventional magnetron sputtering due to a grounded grid that is strategically placed in front of the target (at approximately 2 cm from the cathode ...
9
Estudo das propriedades ópticas e vibracionais de filmes de GaN dopados com Mn elaborados por RF Magnetron Sputtering Reativo
... O nitreto de Gálio (GaN) têm recebido grande atenção nos últimos anos devido a sua possível aplicação em semicondutor magnético diluído (DMS) pela incorporação de íons como o Manganês (Mn). No entanto, a preparação ...
104
Deposição e caracterização de filmes finos de TiOx formados por DC Magnetron Sputtering reativo : estudo de transição estrutural
... de Magnetron Sputtering reativo é possível com alguns ajustes de parâmetros de deposição, controlar o índice de refração dos filmes através da formação de uma determinada estrutura cristalina ou até mesmo ...
173
Adição de nanopartículas de Ti em matriz de Fe através da deposição por magnetron sputtering
... Os resultados apresentados na tabela 10 indicam que os picos de difração sofrem um deslocamento para a esquerda. Os maiores valores de deslocamento, em módulo, no pico de difração são referentes à condição Ar(I), uma vez ...
106
Efeito da pressão em filmes finos de ZnO:Al por RF Magnetron sputtering reativo
... por magnetron sputtering variam suas propriedades estruturais, elétricas e ópticas em função dos parâmetros de deposição como temperatura, pressão, potência, tipo de alvo utilizado, entre outros (Bellingham ...
92
Structural and vibrational analysis of nanocrystalline Ga1-xMnxN films deposited by reactive magnetron sputtering
... magnetron sputtering were analyzed in a wide composition range 共0 ⬍ x ⬍ 0.18兲. The films were structurally characterized using x-ray diffraction with Rietveld refinement. The corresponding vibrational ...
7
Evaluation of Carbon thin Films Using Raman Spectroscopy
... the magnetron sputtering technique were evaluated by Raman spectroscopy to study the influence on their crystallinity caused by different parameters like the carbon deposition time, the different ...
6
Braz. J. Phys. vol.36 número3B
... DC magnetron sputtering system with an S-gun configuration electrode and characterized electrically and ...the sputtering gas pressure and glow discharge (GD) power, on the electrical resistivity of ...
4
Dissertação de Mestrado “Emissão óptica de plasma e desenvolvimento de a-Si:H por sputtering”
... years. Magnetron sputtering has been much less studied to grow a-Si:H compared to the PECVD technique, despite the fact that it uses a less dangerous Si precursor or feedstock and presents advantage with ...
123
Deposição de A/N por sputtering não reativo
... Com o intuito de melhorar a eficiência do plasma foi desenvolvida uma técnica que consiste em criar um confinamento do elétron na região próxima ao alvo. Em corrente contínua na região de descarga abnormal, o plasma se ...
92
Mat. Res. vol.17 número6
... In this work, the surface and electrical characteristics ZnO:Al thin ilms deposited by RF magnetron sputtering onto glass substrates have been investigated. Analysis of surface morphologies revealed two ...
7
Research on Cu2ZnSnTe4 crystals and heterojunctions based on such crystals
... Heterojunctions n-TiN/p-Cu 2 ZnSnTe 4 , n-TiO 2 /p-Cu 2 ZnSnTe 4 and n-MoO/p-Cu 2 ZnSnTe 4 were fabricated by the reactive magnetron sputtering of TiN, TiO 2 and Моо х thin films, r[r] ...
5
Matéria (Rio J.) vol.20 número1
... TiAlN coatings were produced using the triode magnetron sputtering technique to investigate the effect of the bias voltage on the mechanical and tribological properties of the coatings. It was observed that ...
12
Si-based thin film coating on Y-TZP: Influence of deposition parameters on adhesion of resin cement
... reactive magnetron sputtering tech- nique did not change the roughness, considering the parameters ...Different sputtering parameters for Si-based thin film deposition affected the chemi- cal ...
8
Mat. Res. vol.19 número4
... The coatings of FeAlCuCrCoMn high entropy alloy were deposited by direct current magnetron sputtering. The microstructure and the mechanical and corrosion properties of the coatings are investigated. A ...
5
Mat. Res. vol.19 número3
... 13. Yurkov AN, Melnik NN, Sychev VV, Savrans VV, Vlasov DV, Konov VI. Synthesis of carbon films by magnetron sputtering of a graphite target using hydrogen as plasma-forming gas. Bulletin of the Lebedev ...
4
UNIVERSIDADE DO ESTADO DE SANTA CATARINA - UDESC CENTRO DE CIÊNCIAS TECNOLÓGICAS - CCT DEPARTAMENTO DE ENGENHARIA MECÂNICA - DEM PROGRAMA DE PÓS-GRADUAÇÃO EM CIÊNCIA E ENGENHARIA DE MATERIAIS - PGCEM Formação: Mestrado em Ciência e Engenharia de Materiais
... Figura 1.1: Interação dos íons com a superfície do Alvo.................................................... Figura 1.2: Esquema de um Sputtering Convencional........................................................ ...
16